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Dipartimento Sostenibilità, circolarità e adattamento al cambiamento climatico dei Sistemi Produttivi e Territoriali
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1995
Low temperature growth of r.f. reactively planar magnetron-sputtered AlN films
,
Penza, Michele
,
De Riccardis Maria Federica
,
Mirenghi L.
,
Tagliente M.A.
, and
Verona E.
, Thin Solid Films, Volume 259, Number 2, p.154-162, (1995)
